در فرآیند رسوبگذاری بخار شیمیایی پلاسما (PECVD)، هر اتصال الکتریکی، از انتقال توان RF گرفته تا کنترل گاز فرآیند، مستقیماً بر یکنواختی رسوب لایه نازک و بازده تراشه تأثیر میگذارد. با توجه به محیط خشن تجهیزات مینیاتوری، خلاء بالا و تداخل الکترومغناطیسی قوی،واگوکانکتورهای picoMAX® با سه مزیت اصلی خود یعنی «فشردگی، قابلیت اطمینان و کارایی»، به راهکار اتصال ایدهآل برای سیستمهای PECVD تبدیل شدهاند.
طراحی جمع و جور و نوآورانه
سازگاری با طرحبندیهای دقیق محفظه
فضای داخلی تجهیزات PECVD محدود است و نیاز به چیدمان متراکم خطوط برق، سیگنال و حسگر در اطراف محفظه واکنش دارد. picoMAX® از یک طراحی تک فنری و دو طرفه استفاده میکند و گامهای پین چندگانه 3.5/5.0/7.5 میلیمتری در دسترس است. پس از جفت شدن، 30٪ فضای کمتری نسبت به محصولات قبلی اشغال میکند و کاملاً با نیازهای سیمکشی اطراف محفظه سازگار است. کانکتور سوراخدار آن تقریباً به طور کامل در هدر پین تعبیه شده است و از مونتاژ کنار هم بدون از دست دادن قطبها پشتیبانی میکند و به طور قابل توجهی استفاده از برد مدار را بهبود میبخشد و امکان چیدمان منظم خطوط سیگنال و برق را بدون تداخل با میدان جریان گاز فرآیند فراهم میکند.
محافظت قوی در برابر شرایط عملیاتی شدید
فرآیندهای PECVD شامل محیطهای خلاء بالا، پلاسما با فرکانس بالا و ارتعاش هستند و الزامات سختگیرانهای را بر قابلیت اطمینان کانکتور اعمال میکنند. picoMAX® دارای ساختاری پایدار با مقاومت در برابر ارتعاش تا 12 گرم است که از شل شدن اتصال ناشی از ارتعاش فرکانس بالا جلوگیری میکند. همچنین دارای طراحی ضد اتصال اشتباه و دستگاه قفل کننده است که خطاهای نصب را از بین میبرد و از قطع تصادفی جلوگیری میکند و عملکرد مداوم تجهیزات را بدون خرابی تضمین میکند.
اتصال سریع بدون ابزار
picoMAX® دارای فناوری اتصال سریع بدون نیاز به ابزار است که امکان اتصال "plug-and-hold" را برای سیمهای تک رشته و چند رشته با کانکتورهای پرس سرد فراهم میکند. اتصالات سیمکشی پیچیده در یک مرحله تکمیل میشوند که به طور قابل توجهی راندمان مونتاژ را بهبود میبخشد و چرخههای اشکالزدایی را کوتاه میکند. طراحی ماژولار با فرآیندهای لحیمکاری جریانی سازگار است و نیازهای کاهش هزینه تولید خودکار را برآورده میکند. همچنین تمام سناریوهای اتصال PECVD را پوشش میدهد: گام پین 3.5 میلیمتری سیمهای سیگنال 0.2-1.5 میلیمتر² را در خود جای میدهد، در حالی که گام پین 5.0/7.5 میلیمتری از خطوط برق 16 آمپر پشتیبانی میکند. از روشهای نصب سیم به برد و از طریق دیوار پشتیبانی میکند، با سیمکشی کابینت کنترل و حفره سازگار است و با استانداردهای ایمنی الکتریکی GB/T 5226.1 مطابقت دارد و یک سپر محکم برای پایداری فرآیند ایجاد میکند.
در صنعت نیمههادیها، که دقت فرآیند در سطح نانومتر بسیار مهم است، اتصالات قابل اعتماد تضمینکننده بازده بالا هستند.واگوpicoMAX® با مفهوم طراحی انقلابی محصول خود، به "اندازه کوچک، عملکرد بالا" در یک فضای فشرده دست مییابد و راهحلهای اتصال پایدار، کارآمد و بادوام را برای تجهیزات PECVD ارائه میدهد. این امر به تولیدکنندگان نیمههادی کمک میکند تا بر چالشهای اتصالات فرآیند دقیق غلبه کنند و دقت در سطح میکرومتر هر تراشه را حفظ کنند.
زمان ارسال: ۱۳ مارس ۲۰۲۶